为了解决真空计在线校准的问题，研制出一种真空计在线校准系统。真空计在线校准系统通过 优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题。通过对在线校准技术的研究，采用比较法校准方法，以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准，解决了校准条件与使用条件基本一致性问题，可以减小量值传递过程产生的不确定度，保证测量的准确性和可靠性。真空计在线校准系统可实现（10⁵~10^-5）Pa 范围内的真空计的在线计量，相对扩展不确定度不大于 13%。