本文主要是开展对管状件内壁（如碳钢、聚酯 PET 瓶、塑料针筒等）采用微波表面波等离子体 沉积薄膜的均匀性的研究。论文从沉积薄膜的工艺参数到微波耦合天线的设计对所沉积的纳米 DLC 薄膜均匀性的影响因素方面进行了探索，通过测量沿天线方向不同位置薄膜的沉积速率得到：影响微波等离子体沉积薄膜均匀性的因素主要是表面波强度的大小，Penning 放电只能改善区域性薄膜沉积，不能在整个天线范围增强放电、不能制备均匀的纳米薄膜。