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调制比对电弧离子镀 Cr/TiN 纳米多层膜力学性能的影响 *

作者：吴彦超，刘豫瑶，刘洋，高晟元，黄美东（天津师范大学，物理与材料科学学院，天津300387）

关键词：电弧离子镀;Cr/TiN 纳米多层膜;硬度;调制比

摘要：

采用电弧离子镀技术，通过改变调制比沉积 Cr/TiN 纳米多层膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X 射线衍射仪、纳米压痕仪研究了调制比对 Cr/TiN 纳米多层膜表面形貌、微观结构以及力学性能的影响。结果表明，纳米多层膜表面致密、平滑均匀，膜层与基底结合良好，膜层综合力学性能优异，出现明显的纳米效应和界面效应。当调制比为 2颐3 时，纳米多层膜的硬度达最大值 33.22GPa。

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