作者:蔡 潇,曹 曾,张 炜,李瑞鋆,黄 勇 (核工业西南物理研究院,四川 成都 610041)
关键词:超高真空;漏气率;流导;有效抽速
通过搭建 HL-2M 真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真 空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对 HL-2M 真空室进行了预抽,72 小时后真空室真空度达到 3.7×10-5 Pa,超过了预期的预抽真空度。在本底真空度为 3.7×10-5 Pa 的条件下采用静态定容法测试真空室漏放气率,结果显示真空室漏气率为2.3×10-7Pa·m3s-1,小于 HL-2A 真空室预抽时总漏放气率两个量级。试验证明通过合理的抽气机组配置,HL-2M 装置真空室满 足超高真空技术要求,为将来开展高品质等离子体实验提供了良好的条件。