地面电推进试验、星载 Langmuir 探针地面标定等航天任务，均对等离子体参数的校准提出了需 求。目前，等离子体参数的校准主要是在稳定的等离子体环境中，通过被测仪器与标准进行量值比对的方式实现，因此，获得稳定的等离子体环境是开展校准技术研究的重要前提。微波 ECR 源产生的等离子体具有均匀、稳定、可调节范围宽等特点，十分适合应用于等离子体校准中。本文设计研制了永磁型微波ECR 等离子体源，并对该源的特性进行了实验研究，获得了该源的空间分布特性、稳定性实验结果。实验结果表明：研制的紧凑型微波 ECR 源稳定性、重复性均在 10%以内，具有作为标准源应用于等离子体校准的潜力。