对于 X 射线管等小型真空器件，其内部真空监测还缺乏可靠的方法。基于碳纳米管的气体吸 附影响场电子发射的特性，我们开发了一种微型低压传感器，本工作是对该传感器的场发射性能、传感性能、重复性和应用性进行研究。实验结果表明：合金材料制备的碳纳米管分布均匀、晶体性高，有良好的 场发射性能；传感器对氮气和水汽具有传感效应，场发射电流能够随系统内部压力的升高而增加；在同一 个压力值点的多次测试表明传感器测量一致性优于 10 %，能够稳定的工作。对传感器在 X 射线管的应用测试表明：传感器能够监测 X 射线管工作时内部真空的变化，可以有效的测量微小真空电子器件内部的真空。