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  2. 2020年 57卷 6期
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红外测温成像系统光学薄膜滤光片设计与镀制工艺研究 *

作者：郭志帅¹，费书国 ¹ ² ，阴晓俊 ² ，高鹏² ，赵帅锋 ² ，王银河 ² ，宋光辉 ²（1.沈阳工业大学 信息科学与工程学院，辽宁 沈阳 110870；2.沈阳仪表科学研究院有限公司，辽宁 沈阳 110043）

关键词：红外测温;滤光片;膜系设计;镀膜工艺

摘要：

研究了人体红外测温、成像系统光学薄膜滤光片的光谱特性参数、膜系设计及镀膜工艺。根据 黑体辐射理论计算人体红外辐射光谱分布，提出滤光片光谱特性参数要求：截止波长 5.5滋m，透射区波段7滋m~12滋m，平均透射率大于 85%，截止波段 UV-5滋m，平均截止背景大于 OD3。采用单晶硅片为基底，锗、硫化锌为镀膜材料，设计滤光片膜系，研究提出真空镀制工艺。

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