1. 学术期刊
  2. 2020年 57卷 6期
  3. 磁控溅射制备不锈钢基耐蚀导电薄膜研究进展
  1. 联系我们 行业资讯

磁控溅射制备不锈钢基耐蚀导电薄膜研究进展

作者：冯绅绅，汪 亮，李 斌，余清洲，干蜀毅（合肥工业大学机械工程学院，安徽 合肥 230009）

关键词：耐蚀薄膜;导电薄膜;不锈钢基

摘要：

不锈钢基耐腐蚀导电薄膜被广泛应用于燃料电池双极板等器件，要求具有高的耐腐蚀性和导电性、良好的机械性能、加工成本低等特点。然而，目前的不锈钢基薄膜耐腐蚀性和导电性难以兼得，实现这两种性能的合理匹配，降低生产成本，是金属基薄膜商业化的关键环节之一。本文系统总结了磁控溅射制备不锈钢基耐腐蚀导电薄膜的研究进展，并从制备材料种类、工艺参数等方面进行了详细分析。文末还展望了不锈钢基耐腐蚀导电薄膜的发展方向。

全文：

PDF地址

---------------------沈阳真空杂志---------------------


长按识别二维码关注我们


地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号 邮编：110042
电话：（024）24134406 24110136 24121929
传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com
Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved.
<<真空>>杂志社 版权所有