根据目前热丝化学气相沉积（Hot Filament Chemical Vapour Deposition, HFCVD ）金刚石薄膜制备设备现状：存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现 CVD 金刚石薄膜的连续制备、生产成本高及制备效率低等缺点，依据热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的原理，应用 Solidework 三维设计软件进行三维建模，结合机械设计软件制图，研制出了该型金刚石薄膜连续制备 HFCVD 设备，并给出了连续镀膜的工艺流程,采用该设备成功批量生长出质量良好的金刚石薄膜。