为提高高温合金材料抗高温氧化性能，利用真空阴极电弧离子镀在DZ22B 高温合金上沉积NiCrAlY 涂层，研究涂层的抗高温氧化性能。采用扫描电镜观察膜层表面和截面形貌，化学容量法测试膜层成分，X 射线衍射仪分析涂层的物相组成，万能试验机检测涂层结合力。结果表明：所制备的NiCrAlY涂层厚度约50μm，涂层致密且与基体结合良好；涂层成份除Al 元素有所损失外基本与靶材一致。NiCrAlY 涂层主要相为γ'-Ni₃Al/γ-Ni，同时含有少量的β-NiAl 相。在1050℃高温下，NiCrAlY 涂层表面形成致密的氧化铝层有助于减缓氧化速度，对基材起到良好的保护作用；涂层失效的主要方式是随着氧化的进展，氧化层产生裂纹并剥落，新的表面被氧化，剥落和被氧化往复进行，直至涂层失效。