离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点，利用其加工超光滑光学元件可 避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤。本文将射频等离子体应用于石英玻璃的加工，对射频等离子体抛光效应进行了研究。分析通过改变离子束的能量、束流和入射角等工艺参数，对抛光效果的影响。试验结果表明，表面粗糙度 RMS 随着离子束能量的增大先降低后升高，离子束抛光能量为 600eV 时，粗糙度到达最小，为 1.73RMS/nm，离子束束流为 200mA 时，粗糙度到达最小为 1.26RMS/nm。表面粗糙度随抛光时间增加先降低后升高。