本文首先通过脉冲射频辉光放电发射光谱定量表征了自然生长在 Si （111） 基片上约 1nm 的 SiO₂ 膜，表明射频辉光放电发射光谱具有纳米级别的深度分辨率。随后用原子力显微镜和分光光度计对 一款含有 Ag 层的柔性光学功能薄膜进行了表征，并利用脉冲射频辉光放电发射光谱，在不同的工作条件下对其进行了深度剖析。最后利用原子混合 - 粗糙度 - 信息深度模型对所测量的 Ag 深度谱进行了定量分析，获得了不同测量条件下 Ag 深度谱的深度分辨率，由此确定了最佳的脉冲射频辉光放电发射光谱工作条件，对获得柔性功能薄膜高分辨率深度谱具有指导意义。