真空杂志

真空扩散焊电伺服控制系统设计

作者：张吉峰，唐榕（北京真空电子科技有限公司，北京 100015）

关键词：真空扩散焊;电伺服;闭环控制

摘要：

军用真空电子器件向小型化、高频段发展，零件焊接的质量要求大幅提升，传统的真空扩散焊已无法满足焊接需要，在比较了几种压力加载方式后，确定了电伺服压力加载和控制方式开发新型真空扩散焊设备。本文介绍了电伺服压力加载和控制系统的设计要点，并分析了样机试验数据，与传统设备相比，电伺服压力控制系统具有高精度、高柔性的优点，很好地解决了精密焊接难题。

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