针对高端阀门内径 20mm 导向套内壁 DLC 处理，采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混 合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规律。结果表 明:轴向对齐的五个小管内均实现了空心阴极放电，氩气条件下放电电流表现出明显空心阴极放电特征， 而混合气条件下电流幅值较为平整。脉冲电压或气压的提高有利于提高放电电流，而脉冲频率的增加会使得峰值电流略有下降，脉宽的增加使得单纯氩气条件下电流峰值逐渐增加，而对于混合其他条件下的峰值电流影响不大，仅使平均电流增加。固定气压 10Pa 条件下，乙炔流量的变化对放电电流的影响不大，有利于扩大 DLC 薄膜沉积的工艺窗口范围。以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁 DLC 薄膜制备提供工艺基础。