采用多弧离子镀技术在玻璃上沉积单质 Ti 薄膜，利用稳压电源对单质 Ti 薄膜进行阳极氧化，随后在不同温度下对其进行退火处理，研究了退火温度对 TiO₂ 薄膜结构和浸润性能的影响。利用 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜、接触角测量仪分别测试薄膜样品的微观结构、表面形貌和浸润性。结果表明：退火处理使薄膜样品由处理前的非晶态转变成晶态，随着退火温度的升高，薄膜由锐钛矿相转变为金红石相；薄膜表面依次出现了螺旋线、纳米线、团絮状结构；接触角先增大后减小。退火温度为 500℃时，薄膜样品的疏水性能最好，其接触角平均值最大，为 121.78°。