真空杂志

EB-PVD 制备 YSZ 涂层的热震性研究 *

作者：李国浩，巴德纯，王栋，陈红斌，张洪琦，杜广煜（东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所，辽宁沈阳 110819）

关键词：电子束物理气相沉积;热障涂层;热震性能;失效研究

摘要：

用电子束蒸发镀膜的技术制备一系列不同微观结构的 YSZ 涂层，通过对涂层进行热震实验，测试 50 次热循环，通过 SEM、XRD 对涂层样品微观结构进行表征。通过实验和表征结果发现制备束流在 350mA 的情况下 YSZ 涂层样品的热震性能最好。对涂层失效机理进行讨论得出，涂层表面过于致密阻碍热应力的缓解，表面过于疏松加速氧气的渗入，加速 TGO 的生长导致涂层剥落失效。

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