针对高端阀门内径 20mm 导向套内壁处理，采用高频高压脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气 压、脉冲电压和频率等参数对导向套空心阴极放电伏安特性的影响,并对工件间距及与阳极距离等放电结构进行了研究。结果表明:管内空心阴极放电需要一个稳定过程，脉冲电流随着时间的增加逐步降低， 而后达到稳定放电阶段。提高脉冲电压或工作气压,管内空心阴极脉冲峰值电流增加。脉宽或频率的增 加，脉冲峰值电流不变，但平均电流增加，且频率的增加使得激励时间减少。放电结构的分析表明,管间距 的减少，放电电流变化不大，而管口与阳极之间距离的减少，使得放电峰值电流略有增加。以上研究结果 为高端阀门小直径导向套等内壁薄膜制备提供了有效指导。