采用直流反应磁控溅射方法在室温下制备 WO₃ 薄膜。研究溅射功率对 WO₃ 薄膜结构及电致变 色性能的影响规律，考察退火后 WO₃ 薄膜的结构演变及电致变色性能变化。结果表明溅射功率为 270W时薄膜表现出较好的电致变色性能，其调制幅度达 78.5%，着色时间为 9s，褪色时间为 3.2s。将该功率下制备的 WO₃ 薄膜进行退火处理，其结构由非晶态转变为晶态，但调制幅度、响应时间特性都发生一定程 度的退化。非晶态 WO₃ 薄膜相比晶态结构具有更快的响应时间和更宽的调制幅度，但晶态薄膜具有更好 的循环稳定性。