真空杂志

250mm 口径低温泵设计 *

作者：曾环 ¹ ²，邓家良 ¹ ²，孙志和 ¹ ²（1．中国电子科技集团第十六研究所，安徽合肥 230088； 2．安徽万瑞冷电科技有限公司，安徽合肥 230088）

关键词：低温泵;制冷机;吸附阵;热负荷;有限元分析

摘要：

介绍了 250mm 口径低温泵的设计及计算，详细列出壳体、吸附阵、冷屏、障板等部件的设计。文中对壳体强度，冷屏、障板和冷凝板的热负荷进行详细计算。通过对冷屏、障板和吸附阵进行温度场分析，校核了计算的准确性，同时又为实际试验提供了理论依据和温度参考。

全文：

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