在室温条件下，采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了 AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜。主要研究了 Ag 层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明，AZO 和 Ag 分别延 （002） 面和（111）面高度择优生长，随着 Ag 层厚度的增加，多层透明导电薄膜的电阻率不断降低，透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势，其中 Ag 层厚度为 8nm 的样品获得最大品质因子 33.1×10^-3Ω^-1 ，综合性能最佳。