真空杂志

波长渐变滤光片的设计与测试探讨

作者：王忠连，任少鹏，阴晓俊，王瑞生，高鹏，班超，胡雯雯（沈阳仪表科学研究院有限公司，辽宁沈阳 110043）

关键词：波长渐变滤光片;渐变掩膜板;磁控溅射;渐变光谱测试

摘要：

基于膜厚渐变 - 波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片，介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺，设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。

全文：

---------------------沈阳真空杂志---------------------

长按识别二维码关注我们

地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号邮编：110042
电话：（024）24134406 24110136 24121929
传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com
Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved.
<<真空>>杂志社版权所有