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  2. 2020年 57卷 1期
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用水分子质谱仪进行电容器真空浸渍过程终点判断的研究

作者：于胜斌 1，乔保振 2，于清明 1，张保国1，王英武 2，乔 木 2 （1.中国启源工程设计研究院有限公司 陕西 西安 710018；2.沈阳诚桥真空设备有限公司 辽宁 沈阳 110025）

关键词：真空浸渍;真空终点判断;质谱;残余气体;水质谱仪

摘要：

如何在保证电容器真空浸渍质量的前提下，尽量缩短抽真空时间、降低成本，是各个电容器生产厂家非常关注的问题。长期以来，由于没有客观的测量数据对真空浸渍终点进行有效判断，往往使得抽真空阶段时间无故延长。本文介绍一种最新研制成果水分子质谱仪，可测量和计算出被抽气体水蒸气分子的个数。从分子量级，对电容器真空浸渍终点进行判断，从而实现对真浸过程的终了时间进行准确有效地判断。

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