真空杂志

纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展

作者：丁孙安，杨辉（中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，江苏苏州 215123）

关键词：纳米;表面污染;真空环境;真空互联大装置;重要进展

摘要：

进入纳米时代后，纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质，而更主要是由材料的表、界面性质来决定。为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤，薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中。本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能，以及支持项目和取得的重要进展。

全文：

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