真空杂志

片上电子源的研究现状（一）

作者：杨威，魏贤龙（北京大学电子学系纳米器件物理和化学教育部重点实验室，北京 100871）

关键词：片上电子源;场发射;内场发射;热发射

摘要：

本文主要回顾总结近数十年来片上电子源的研究工作及最新进展，包括场发射片上电子源、内场发射片上电子源以及新型热发射微型片上电子源。本文从这些片上电子源的基本原理、加工制备以及工作性能（包括工作电压、工作真空、发射电流、发射电流密度和发射效率）等方面进行比较，分析各种片上电子源的优劣点，为片上电子源的发展现状做一个简单的总结。

全文：

PDF地址

片上电子源的研究现状（一）

长按识别二维码关注我们

地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号邮编：110042
电话：（024）24134406 24110136 24121929
传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com
Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved.
<<真空>>杂志社版权所有

片上电子源的研究现状（一）

长按识别二维码关注我们

地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号 邮编：110042 电话：（024）24134406 24110136 24121929 传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved. <<真空>>杂志社 版权所有

地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号邮编：110042
电话：（024）24134406 24110136 24121929
传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com
Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved.
<<真空>>杂志社版权所有