本文以碳纳米管（CNT）作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构，结构包括场 发射电子源、阳极和离子收集极，阳极和离子收集极为同轴圆环结构。利用热化学气相沉积法在金属基底上直接生长碳纳米管，分别制备了 4mm×5mm 矩形和直径 0.1mm 圆形两种阴极发射面。碳纳米管阴极具有优异的场发射性能，开启电场 1.70 V/μm。在氮气环境下，分别对不同阴极真空电离计结构的真空测量性能进行了研究，真空计在 10^-7 到 10^-3Pa 区间归一化电流（Ii/Ia）与压强表现出良好的线性关系，矩形和圆 形发射面阴极对应的真空计其测量灵敏度分别是 3.1×10^-2Pa^-1 和 1.3×10^-2Pa^-1。