作者:陈海峰 ¹,林乐忠 ²(1.中国南玻集团股份有限公司研究院,广东 深圳 518067;2.威海智德真空科技有限公司技术中心,山东 威海 264400)
关键词:Low-E 玻璃;镀膜线;真空室;真空泵配备;抽气计算;C1 室设计
Low-E 玻璃镀膜线 C1 室,是整条生产线非常重要的真空室,它的节拍决定了整条生产线的最快节拍。本文对 C1 室的设计提出了一系列要求,给出了相应的设计原则,从降低设备制造成本、降低能耗、增加设备的适用性方向出发,又给出了有别于常规的特殊设计,对抽气时间、泵组配置进行了计算。按此设计制造了 C1 室并进行了测试,验证了特殊设计中占空块这一项设计,就可使抽气时间改变43.2%。