扩散泵的现状及发展趋势

作者:张志军,张世伟,韩 进,徐成海(东北大学机械工程与自动化学院,沈阳 110819)

关键词:扩散泵;特点;历史;现状;前景

摘要:

本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景。

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