真空杂志

单侧涡旋干式真空泵内气体流动的 CFD 模拟

作者：邓文宇，段永利，齐丽君，孙宝玉（沈阳中北通磁科技股份有限公司，辽宁沈阳 110168）

关键词：涡旋干式真空泵;单侧;计算流体力学;动网格技术;数值模拟

摘要：

本文建立了单侧涡旋干式真空泵流动区域的数值计算模型，并基于 CFD 通用软件 ANSYS-CFX和动网格技术建立了干式涡旋真空泵内瞬态流动的仿真模型，分析了泵内的工作过程，及存在“欠压缩”和“过压缩”时涡旋干泵内热场分布。为进一步研究干式涡旋真空泵的理论和设计问题进行了有益的尝试。

全文：

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