作者:冉 彪,刘 飞,于 翔(北京航空航天大学 机械工程及自动化学院,北京 100191)
关键词:石墨烯;退火温度;退火时间;C/Si 原子比
针对空间钻探中硬质合金钻具部件的减摩润滑问题,提出一种在硬质合金基底上原位生长石墨烯的方法。在硬质合金基底上磁控溅射沉积非晶碳化硅(SiC)薄膜,利用合金中的粘结相 Co 在真空退火条件下催化非晶 SiC,实现原位生长石墨烯。研究了在硬质合金基底表面磁控溅射沉积非晶 SiC 薄膜,在真空退火条件下,退火温度、退火时间和 C/Si 原子比对金属 Co 催化非晶 SiC 在硬质合金上原位生长石墨烯的影响,分析了金属 Co 在催化非晶 SiC 制备石墨烯过程中的反应机理,为石墨烯在真空钻探刀具润滑材料的应用提供了一定的理论基础。