针对小型半密封器件腔体压力变化无法采用真空计直接测量的特点，提出了一种基于材料放气率测量工作中使用的静态压升法和动态流量法，将两者结合使用的腔体压力间接测量法，并针对某种典型半密封器件产品，采用微型测量传感器进行了原位模拟测试验证。模拟测试结果表明，所提出的腔体压力计算测量法具有测量结果准确，简单可行，能解决小型半密封器件腔体压力测量的难题。该方法适用于陀螺仪充油、制冷机腔体充氦、电推进系统氙气充装等过程中的腔体压力变化实时监测。