作者:李 昊,王东伟,张 川,刘 婵,黄美东(天津师范大学物理与材料科学学院,天津 300387)
关键词:多弧离子镀;Cr/CrN 多层膜;耐腐蚀;调制比
采用电弧离子镀技术制备了 Cr/CrN 多层膜,通过控制每个 Cr 层和 CrN 层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对 Cr/CrN 多层膜的影响。结果表明,引入 Cr 层对CrN 薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低,结构更加致密。动电位极化曲线和电化学阻抗谱表明,与纯 CrN 薄膜相比,Cr/CrN 多层膜的腐蚀电位增加了约 100 mV,腐蚀电流密度降低一个数量级以上,多层膜的耐腐蚀性能得到明显提升。