真空杂志

用于 OLED 试验的小型真空制备系统设计

作者：隋文，张驰，李建昌（东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心，辽宁沈阳 110819）

关键词：OLED 器件;真空蒸发镀膜;手套箱;OLED 封装

摘要：

基于国内外 OLED 制备系统的特点，设计了 OLED 研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列，可实现不同膜层结构 OLED 器件的有机薄膜和电极的原位沉积，提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。

全文：

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