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相对法校准真空漏孔及不确定度的评定

作者：刘兴胜¹ ，解永蓉¹ ，郑颖¹，费渭南 ²（1.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳 621900；2.中国计量科学研究院，北京 100013）

关键词：相对法;真空漏孔;校准原理;校准过程;不确定度

摘要：

相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值，根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置，能方便的校准真空漏孔，且不确定度符合量值传递要求，满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏孔的原理，过程及不确定度的评定。

全文：

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