电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面，使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中，上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿 命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附 （KEK-ESD） 装置试验数据为参考，研制了一台在150eV~1000eV 电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置，并同 KEK-ESD 无氧铜材料试验数据进行了对比，证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。