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  2. 2019年 56卷 1期
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弧光放电氩离子清洗源

作者：王福贞 ¹，陈大民 ²，颜远全 ³（1.北京联合大学，北京 100102；2.大连纳晶科技公司，辽宁 大连 116600；3.深圳嘉德真空光电有限公司，深圳 518110）

关键词：固体弧光放电氩离子清洗源;气体弧光放电氩离子清洗源;结合力;旋靶管型柱状非平衡闭合 磁场的磁控溅射镀膜机

摘要：

弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离，用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压 200V 以下，工件偏流可以达到 10A-30A，弧光放电氩离子流密度大，对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。

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